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精密控制技術

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半導體制造決勝關鍵：高端裝備中的納米級精密控制技術解析半導體制造已進入納米級競賽，其核心突破在于高端裝備中實現的原子級操作精度。納米級精密控制技術如同精密鐘表的心臟，直接決定了芯片性能與良率。本文將解析該技術三大核心環節及其對電容器、傳感器等基礎元件的嚴苛需求。一、納米級運動控制的實現基礎半...

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